ICP光譜分析儀，即電感耦合等離子體光譜儀，是光譜儀的一個(gè)分支，主要用于檢測(cè)微量及痕量元素的分析，可分析的元素為大多數(shù)的金屬元素。其可廣泛用于稀土、貴金屬、合金材料、電子產(chǎn)品的分析檢測(cè)，并且可對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行定性或從超微量到常量的定量分析。
將石英炬管置于高頻感應(yīng)線圈中，等離子工作氣體（通常為氮?dú)猓┏掷m(xù)從炬管內(nèi)通過，在感應(yīng)線圈上施加高頻電場(chǎng)時(shí)，使用一個(gè)感應(yīng)線圈產(chǎn)生電火花觸發(fā)少量氣體電離（或?qū)⑹舻劝雽?dǎo)體插入炬管內(nèi)，使其在高頻交變電場(chǎng)作用下產(chǎn)生焦耳熱而發(fā)射熱電子），產(chǎn)生的帶電粒子在高頻交變電磁場(chǎng)的作用下高速運(yùn)動(dòng)，碰撞氣體原子，使之迅速大量電離，形成“雪崩”式放電。電離了的氣體在垂真于磁場(chǎng)方向的截面上形成閉合環(huán)形路徑的渦流，在感應(yīng)線圈內(nèi)形成相當(dāng)于變壓器的次級(jí)線圈并同相當(dāng)于初級(jí)線圈的感應(yīng)線圈耦合，這股高頻感應(yīng)電流產(chǎn)生的高溫又將氣體加熱，電離，并在管口形成一個(gè)火炬狀的穩(wěn)定的等離子體焰炬。這就是ICP光譜儀光源的形成方式。
ICP光譜分析儀的應(yīng)用
同樣的，ICP光譜分析儀的特點(diǎn)是：
(1)ICP的工作溫度比其他光源高。
(2)由ICP形成形成過程可知，ICP是渦流態(tài)的，且在高頻發(fā)生器頻率較高時(shí)，等離子體因趨膚效應(yīng)而形成環(huán)狀。
(3)ICP中電子密度很高，所以堿金屬的電離在ICP中不會(huì)造成很大的干擾。
(4)ICP是無極放電，沒有電極污染。
(5)ICP的載氣流速較低，有利于式樣在中央通道中充分激發(fā)，而且耗氧量也較少。
(6)ICP一般以氬氣作工作氣體，由此產(chǎn)生的光譜背景干擾較少。
ICP光譜分析儀作為微量及痕量元素分析的重要手段，就是這樣的儀器。