X熒光光譜儀是用來測(cè)定物質(zhì)重元素的種類和含量的儀器，物質(zhì)中每種元素的原子能級(jí)結(jié)構(gòu)都是特定的，躍遷時(shí)產(chǎn)生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差）。因此通過測(cè)定特征X射線的能量，便可以確定相應(yīng)元素，而特征X射線的強(qiáng)弱則代表該元素的含量。在使用X熒光光譜儀時(shí)，其小故障該怎么處理。
X射線光管頻繁自動(dòng)關(guān)掉，其主要原因是X光管發(fā)生器的溫度升高，這時(shí)候我們需要清理或更換X光管發(fā)生器的排風(fēng)扇，即可解決這個(gè)問題。
X熒光光譜儀有自檢功能，但是在使用時(shí)發(fā)現(xiàn)不自檢，不聯(lián)機(jī)，不復(fù)位，而且多次重新啟動(dòng)都一樣。在經(jīng)過一系列操作過后：卸真空后，重新啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，熒光自檢、聯(lián)機(jī)、復(fù)位正常，但在抽真空時(shí)，不能抽，出現(xiàn)大于25Ka時(shí)間太長(zhǎng)，經(jīng)查發(fā)現(xiàn)油泵和樣品室之間的過濾網(wǎng)堵塞嚴(yán)重，經(jīng)更換后正常。
X熒光光譜儀不能聯(lián)機(jī)，可以關(guān)光管，關(guān)機(jī)，重新啟動(dòng)，將“ICS”內(nèi)容去掉后正常。
X熒光光譜儀進(jìn)樣時(shí)間變長(zhǎng)，甚至不能分析，在經(jīng)過研究，檢查黃銅蓋更換O型環(huán)，仍然漏氣，卸真空，揭入蓋，清小車，更換進(jìn)樣軸封，確定是進(jìn)樣軸封漏氣導(dǎo)致了此狀況產(chǎn)生。
真空型X熒光光譜儀
X熒光光譜儀樣品盒進(jìn)去后不出來，經(jīng)過檢查，盒蓋未蓋上，只放在上面，導(dǎo)致盒超出范圍，進(jìn)去后出不來，又不能進(jìn)行初始化。此時(shí)關(guān)光管，關(guān)機(jī)，重新啟動(dòng)，但不需要進(jìn)行初始化。
X熒光光譜儀熒光分子泵停，真空度高，大概率是由光譜室內(nèi)漏氣導(dǎo)致。卸真空，揭大蓋、清小車上下密封環(huán)。
X射線熒光光譜儀用于固體、粉末或液體物質(zhì)的元素分析。工作的基本原理是X射線管發(fā)出的初級(jí)X射線激光試樣中的原子，產(chǎn)生的熒光X射線通過晶體分光并用探測(cè)器測(cè)量，根據(jù)各種元素特征X熒光譜線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度進(jìn)行元素的定性和定量分析。