X熒光光譜分析方法是目前應(yīng)用范圍比較廣的分析方式，據(jù)了解，使用X射線來檢測，可實現(xiàn)合金、礦石、土壤、RoHS等多種檢測。在常規(guī)的儀器了解中，小編一直以為X熒光光譜儀里的X熒光都是由X射線管產(chǎn)生的，然而其實并不是這樣的。
以X射線管的一次輻射激發(fā)熒光已經(jīng)成為X熒光光譜分析的比較常用的方法，其實主要原因還是這種方法成本低，試樣更換比較方便，熒光強(qiáng)度較高。但其實，放射源激發(fā)，直接電子激發(fā)或質(zhì)子轟擊等具有一些獨特的地方，可以供一些分析工作選用。
放射源激發(fā)
這里面有兩種主要的放射源，一種是放射γ射線，另外一種放射電子（β粒子），而且能在某能源中轉(zhuǎn)化為X射線。射電子(β粒子)，而且能在某能源中轉(zhuǎn)化為X射線。如果能很方便地把氫引入經(jīng)過選擇的任何元素，在多種情況下，β發(fā)射體是理想的放射源。放射源的優(yōu)點是體積小，與X射線管相比成本低。但缺點是強(qiáng)度低，有些同位素壽命短。如與X射管相比，其強(qiáng)度之低，以致無法采用色散X射線的晶體分光計，而只能采用能量色散(常稱為非色散法)裝置。
直接電子激發(fā)
在總功率相等的前提下，直接電子激發(fā)所提供的強(qiáng)度比X射線激發(fā)引起的熒光強(qiáng)度高兩萬倍。但是試樣必須置于電子源真空系統(tǒng)內(nèi)。當(dāng)然，這對高速真空系統(tǒng)而言，是不難實現(xiàn)的，這就是電子探針微區(qū)分析所使用的方法。對于中等原子量元素，來自連續(xù)譜的背景影響使電子激發(fā)的探測能力局限于20~100ppm；X射線激發(fā)法的最低可測含量為1~ 10ppm。在低原子序數(shù)元素的測定中，關(guān)鍵的問題是如何獲得足夠的強(qiáng)度，直接電子激發(fā)則能提供較高的強(qiáng)度。
X熒光光譜儀的內(nèi)部檢測原理
質(zhì)子激發(fā)
關(guān)于質(zhì)子激發(fā)，已經(jīng)做過研究，而且認(rèn)為，這種方法在某些方面是極其有益的。在質(zhì)子激發(fā)中，不存在可測的連續(xù)譜，這與電子激發(fā)相比，是一個突出的優(yōu)點。一般說來，質(zhì)子源的成本較電子源或X射線管都高。之前認(rèn)為，在激發(fā)薄膜的X射線時，質(zhì)子比電子更有效，其理由是質(zhì)子的穿透本領(lǐng)小。但是，在X射線產(chǎn)額相同的條件下質(zhì)子能量約比電子能量高一百倍，因此高能質(zhì)子的穿透能力實際上大于低能電子。