隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)氧化物原料無(wú)法滿足制造一些特殊材料的要求，因?yàn)槠鋬?yōu)良的性能，廣泛用于化工、冶金、能源、機(jī)械、建材等領(lǐng)域。針對(duì)SiC含量的檢測(cè)，使用碳硫分析儀檢測(cè)是一個(gè)有效的方法。
傳統(tǒng)方法，使用吸收重量法和氫氟酸處理分光光度計(jì)比色法，目前，高頻紅外碳硫分析儀無(wú)論從分析速度和精度還是準(zhǔn)確度上都有了很大的提高，使用紅外碳硫分析儀檢測(cè)SiC含量，滿足了企業(yè)生產(chǎn)需求，也滿足樂國(guó)家實(shí)驗(yàn)室能力認(rèn)可的要求。
檢測(cè)方法
在電子天平上稱取試樣，輸入計(jì)算機(jī)，樣品在850℃的馬弗爐中燒至恒重，冷卻，然后加入助熔劑，被測(cè)樣品在富氧條件下由高頻爐高溫加熱燃燒使SiC中的C分解氧化成CO氣體，該氣體在載氣的帶動(dòng)下經(jīng)過氣路系統(tǒng)進(jìn)入相應(yīng)的紅外吸收池，對(duì)相應(yīng)的紅外輻射進(jìn)行吸收再由探測(cè)器轉(zhuǎn)化成對(duì)應(yīng)的信號(hào)。此信號(hào)由計(jì)算機(jī)采集，經(jīng)線性校正后轉(zhuǎn)換成與CO成正比的數(shù)值，除以質(zhì)量值，乘以用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)的校正系數(shù)，減去空白，可獲得SiC中碳的百分含量，然后用該值再乘以轉(zhuǎn)換系數(shù)3.338，即可得到SiC的百分含量。
SiC在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
碳硫分析儀檢測(cè)耐火材料中的SiC含量
碳化硅主要有四大應(yīng)用領(lǐng)域，即：功能陶瓷、高級(jí)耐火材料、磨料及冶金原料。碳化硅粗料已能大量供應(yīng)，不能算高新技術(shù)產(chǎn)品，而技術(shù)含量極高的納米級(jí)碳化硅粉體的應(yīng)用短時(shí)間不可能形成規(guī)模經(jīng)濟(jì)。
⑴ 作為磨料，可用來(lái)做磨具，如砂輪、油石、磨頭、砂瓦類等。
⑵ 作為冶金脫氧劑和耐高溫材料。
⑶ 高純度的單晶，可用于制造半導(dǎo)體、制造碳化硅纖維。
主要用途：用于3-12英寸單晶硅、多晶硅、砷化鉀、石英晶體等線切割。太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、壓電晶體產(chǎn)業(yè)工程性加工材料。
用于半導(dǎo)體、避雷針、電路元件、高溫應(yīng)用、紫外光偵檢器、結(jié)構(gòu)材料、天文、碟剎、離合器、柴油微粒濾清器、細(xì)絲高溫計(jì)、陶瓷薄膜、裁切工具、加熱元件、核燃料、珠寶、鋼、護(hù)具、觸媒擔(dān)體等領(lǐng)域。
使用碳硫分析儀對(duì)SiC的含量進(jìn)行分析，這對(duì)企業(yè)的生產(chǎn)是非常重要的。